پارامترهای فنی
ترکیب بندی | محتوا | شماره CAS |
آب خالص | 85-90٪ | 7732-18-5 |
بنزوات سدیم | 0.1-0.2٪ | 532-32-1 |
سورفاکتانت | 4-5٪ | ∕ |
دیگران | 4-5٪ | ∕ |
مشخصات محصول
1- سطح حفاظت از محیط زیست بالا: اچینگ انتخابی را می توان بدون استفاده از پایه های آلی مانند TMAH به دست آورد.
2، هزینه تولید کم: استفاده از NaOH/KOH به عنوان مایع اچ، هزینه بسیار کمتر از فرآیند پرداخت اسیدی و اچ است.
3، راندمان اچ بالا: در مقایسه با فرآیند پولیش و اچ اسید، راندمان باتری بیش از 0.15٪ افزایش یافته است.
برنامه های کاربردی محصول
1، این محصول به طور کلی برای فرآیندهای باتری Perc و Topcon مناسب است.
2، مناسب برای تک کریستال های 210، 186، 166 و 158 مشخصات.
دستورالعمل استفاده
1، مقدار مناسبی از قلیایی را به مخزن اضافه کنید (1.5-4٪ بر اساس نسبت حجمی KOH/NAOH)
2، مقدار مناسبی از این محصول را به مخزن اضافه کنید (1.0-2٪ بر اساس نسبت حجم)
3، مایع مخزن پولیش را تا 60-65 درجه سانتیگراد گرم کنید
4، ویفر سیلیکونی را با پشتی PSG خارج شده در مخزن پولیش قرار دهید، زمان واکنش 180-250 ثانیه است.
5، کاهش وزن توصیه شده در هر طرف: 0.24-0.30 گرم (210 منبع ویفر، سایر منابع به نسبت مساوی تبدیل می شوند) سلول های خورشیدی PERC تک و پلی کریستالی
موارد احتیاط
1، مواد افزودنی باید به شدت دور از نور نگهداری شوند.
2، هنگامی که خط تولید تولید نمی شود، سیال باید هر 30 دقیقه یکبار پر و تخلیه شود.در صورت عدم تولید بیش از 2 ساعت، تخلیه و پر کردن مایع توصیه می شود.
3، اشکال زدایی خط جدید نیاز به طراحی DOE بر اساس هر فرآیند خط تولید برای دستیابی به تطابق فرآیند دارد و در نتیجه کارایی را به حداکثر می رساند.فرآیند پیشنهادی را می توان به اشکال زدایی اشاره کرد.